眾所周知，硅晶圓是制造半導(dǎo)體器件和芯片的基本材料，而且在產(chǎn)業(yè)中扮演著舉足輕重的地位，可以說硅是當(dāng)今最重要、應(yīng)用最廣泛的半導(dǎo)體材料。

硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式廣泛存在于巖石、砂礫中，而硅晶圓的制造有三大步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。接下來由小編帶大家了解一番。

一、 硅提煉及提純

硅的提純是第一道工序，需將沙石原料放入一個(gè)溫度超過兩千攝氏度的并有碳源的電弧熔爐中，在高溫下發(fā)生還原反應(yīng)得到冶金級(jí)硅，然后將粉碎的冶金級(jí)硅與氣態(tài)的氯化氫反應(yīng)，生成液態(tài)的硅烷，然后通過蒸餾和化學(xué)還原工藝，得到了高純度的多晶硅。

二、 單晶硅生長

這道工藝常用的是直拉法，高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱，溫度維持在大約一千多攝氏度，爐中的空氣通常是惰性氣體，使多晶硅熔化，同時(shí)又不會(huì)產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng)。

為了形成單晶硅，還需要控制晶體的方向，坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉(zhuǎn)，把一顆籽晶浸入其中，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn)，同時(shí)慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。

熔化的多晶硅會(huì)粘在籽晶的底端，按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。用直拉法生長后，單晶棒將按適當(dāng)?shù)某叽邕M(jìn)行切割，然后進(jìn)行研磨，再用化學(xué)機(jī)械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡，這時(shí)候晶圓片就制造完成了。

晶圓制造廠把這些多晶硅融解，再在融液里種入籽晶，然后將其慢慢拉出，以形成圓柱狀的單晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態(tài)的硅原料中逐漸生成。

三、晶圓成型

完成了上述兩道工藝， 硅晶棒再經(jīng)過切段，滾磨，切片，倒角，拋光，激光刻，包裝后，即成為集成電路工廠的基本原料——硅晶圓片，也就是所謂的“晶圓”。

在現(xiàn)實(shí)生活中，我們常聽到人們講起幾寸晶圓廠，其實(shí)指的就是生產(chǎn)單片晶圓的尺寸。一般情況下，硅晶圓直徑越大，代表晶圓廠技術(shù)實(shí)力越強(qiáng)。為了將電晶體與導(dǎo)線尺寸縮小，可以將幾片晶圓制作在同一片晶圓上，制作出更多的硅晶粒，但是硅晶圓生產(chǎn)最關(guān)鍵的參數(shù)就是良品率，這是晶圓廠的核心技術(shù)參數(shù)，它與硅晶圓生產(chǎn)設(shè)備的質(zhì)量密不可分。

備注：本文素材來源于網(wǎng)絡(luò)，僅作學(xué)習(xí)與交流，所有觀點(diǎn)屬于原作者，不代表對(duì)該觀點(diǎn)表示支持或贊同，如有侵犯到您的權(quán)利，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我們刪除。